爪型干式 真空泵的結構，一般采用多級轉子串聯，或 羅茨轉子與多級轉子串聯的形式，組成多級爪型干式 真空泵。四級泵腔依次串聯，每級泵腔內各有一對共軛嚙合，做同步反向運動的爪型轉子。 四級泵腔中的第一級泵腔為吸氣級，其吸氣容積比后面三級大，形成級間壓縮。
四對轉子裝在二根平行軸上，軸由上下兩端軸承支撐，泵腔級與級之間有隔板，隔板上有吸排氣通道。
電動機倒立 安裝，經過渡齒輪將動力傳遞到轉子軸上，轉子軸由一對同步時限齒輪帶動及調整和固定轉子的相位。 轉子之間及轉子與泵腔內部留有微小縫隙，轉子懸浮于泵腔使得過流部分無任何實質性接觸摩擦，也不需要潤滑，這就保證了爪泵可以長期穩定保持極限真空、抽速、壓縮比不變，壽命長。
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