擴散泵的結構原理如圖1,底部為蒸發器，內貯有擴散泵油。上部為進氣口，右側旁管為出氣口，在工作時出氣口處由機械泵提供前置真空。當油被電爐加熱時，產生的油蒸汽沿著導
流管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機械泵提供的真空(10-2~10-3托)，故油蒸汽流可噴出一長段距離，鉤成一個向出氣口方向運動的射流。射流最后碰上有冷卻水冷卻的器壁時，授結為液休，流回蒸發器，重新使用。
由進氣口進入泵內的氣體分子，一旦落入蒸汽流中，便獲得向下運動的動最，往下飛去。由于射流具有高的速度(約每秒200米)、高的蒸汽密度(蒸汽壓幾至幾十托)，且擴散泵油具有高的分子量(350-500)，故能有效地帶走氣體分子，因此在射流的界面內，氣體分子不可能長期停留，其濃度很小。換言之，在射流界面的兩邊，被抽氣體有很大的濃度差。正是這個濃度差，使被抽氣體能源源不斷地越過界面，擴散入射流中并被帶往出口處。在那里，它們被機械泵帶走。
