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油式真空泵是半導體行業中常用的真空泵種類，最主要的特點是真空度高，能滿足新型行業的特殊工藝要求，其中又以旋片式真空泵和往復式真空泵為主要代表。隨著時間的推移，社會的進步，它們在各種應用中的表現越來越不能使人們感到滿意，比如旋片式真空泵不能抽水蒸氣和可凝性氣體及易腐蝕性氣體等，因此，干式真空泵應運而生。